| 一种基于分子动力学纳米压痕验证接触塑性对轻敲式原子力显微镜相位贡献的方法 |
| CN202310585886.X 2023-5-23 发明申请 |
| 2023-8-22 |
| 本发明公开了一种基于分子动力学纳米压痕验证接触塑性对轻敲式原子力显微镜相位贡献的方法，包括以下按步骤：根据样品及针尖建立纳米压痕初始模型，根据模拟材料及运动特征，设定纳米压痕过程运行环境参数，将模型弛豫消除初始构型缺陷并使能量稳定，设置压头运动方式进行纳米压痕仿真，并采集压入过程中的压头受力及位移数据，分析计算是否产生接触塑性及压头因塑性变形造成的能量耗散。本发明计算方法能够精确测得压头受力及样品塑性变形深度，并准确计算纳米压痕接触塑性能量耗散对针尖相位贡献程度。 |
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