使用扫描电子显微镜检查微阵列的系统和方法
 
US10615560  2003-7-11  发明申请

2004-4-29
 
  本发明提供了使用扫描电子显微镜检测微阵列上的生物分子的方法。 在本发明的一个实施方案中,通过监测芯片上的对照探针的合成来检测微阵列制造过程中寡核苷酸合成的错误。 在另一个实施例中,确定芯片上的特征的未对准。 在另一个实施例中,确定芯片上的特征的尺寸,形状和边缘定义。 在进一步的实施方案中,提供了用于分析微阵列上的寡核苷酸靶和寡核苷酸探针之间的相互作用的方法,以及用于测试微阵列制造过程中的条件的方法。
 
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