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产业专利数据

具有用于耦合到操纵光束的反射镜的扫描显微镜

US10680980 2003-10-8 发明申请

2004-4-15

一种扫描显微镜，具有发射照明光束的光源，用于照明样品。所述照明光束沿着照明光束路径延伸，并且可以使用光束偏转装置在所述样品上引导和/或通过所述样品。可被引导地引入照明光束路径中的反射镜将操纵光束经由光束偏转装置引导到样品上。