| 偏转探测系统、探测方法及扫描电子显微镜 |
| CN202310893962.3 2023-7-20 发明申请 |
| 2023-8-22 |
| 本发明涉及一种偏转探测系统、探测方法及扫描电子显微镜。该偏转探测系统包括：物镜、偏转器组件、多组探测器组件以及样品台，入射电子束通过物镜汇聚后，作用在待测样品上产生不同的电子和/或射线的散射信号；偏转器组件设在物镜内，用于使不同的散射信号以不同角度方向偏转；多组所述探测器组件均设于物镜上方，分别用于接收相应偏转角度方向的散射信号；样品台用于放置待测样品。基于上述方案，本发明提供的偏转探测系统可以基于各种不同类型、不同电子能量的散射信号对待测样品进行探测，可以应用于各种不同的使用模式，应用范围更广。 |
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