| 方法和装置，用于确定一个距离，一个自动聚焦模块，显微镜和方法用于自动聚焦显微镜 |
| WODE03003265 2003-9-25 发明申请 |
| 2004-4-8 |
| 本发明涉及一种方法用于确定所述参考平面之间的距离和一个内部或外部光定义一个物体的表面。所述方法包括以下步骤 : 产生一个准直光束(18); 注入所述准直光束到一透镜系统，其是由一个物镜的透镜(10)和一个tubus透镜(12)作为被该情况下，在一显微镜，使得所述准直发射的光束是在一个横向的方式在所述tubus透镜; 检测所述的位置所发出的光束(38)通过所述tubus透镜通过一个第一反射的内部或外部光学定义一个物体的表面; 产生一第一信号表征所述位置; 确定所述参考平面之间的距离和所述方向第一限定的表面中的定量和术语第一的信号。本发明还涉及一种装置，用于进行所述的方法和使用其用于确定一表面一种尤其金属物体的轮廓，自动聚焦模块，用于自动聚焦显微镜显微镜和方法。 |
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