| 一种扫描电子显微镜的性能测量所述的方法 |
| KR1020037004121 2003-3-21 发明申请 |
| 2004-4-3 |
| 所述一种扫描电子显微镜(SEM)(10)的性能是通过扫描确定的，与该SEM，多孔硅表面区域(PSF，PSC)每个具有不同平均微孔尺寸，计算所述傅里叶变换光谱(Fc)所述的图像的所述表面区和在一零信号外推所述分辨率(R)-对-噪声比(SNR)从所述宽度(W(1\/e))，该信号的振幅(Sa)和所述噪声的偏移(nl)所述光谱。与所述不同的表面区域提供一测试样品是通过阳极氧化获得一硅衬底(SU)在一恒定电流，同时连续地减小所述衬底区域暴露于该蚀刻电解质(EL)。kipo&wipo2007 |
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