| 聚焦装置，位移传感器和cofocusing显微镜 |
| JP2003153165 2003-5-29 发明申请 |
| 2004-4-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一聚焦装置在其测量范围被扩展和测量精度提高使用一简单结构，以提供一个位移传感器和一个cofocusing显微镜。溶液 : 激光光束从激光二极管11被传递通过一个偏振光束分束器13，一个准直透镜14，一发散透镜15和一个物镜16，一个待测物体17上的会聚和照射和所述反射的反射和由光电二极管19接收到的在所述分束器13。该透镜15被精细地通过一个音叉振动和所述对象17被检测的所述位移通过该透镜15所述的位置，其中所述光的光束被由光电二极管19接收到的量变得最大。当该透镜15所述的位置是变化的沿所述光学轴线，所述纵向所述透镜的放大率16是改变和更高的精度和更宽的范围内测量被提供。 |
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