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用于原子力显微镜悬臂与方位角力传感器

JP2003347346 2003-10-6 发明申请

2004-3-25

要解决的问题 : 以提供一种使用用于一种原子力显微镜悬臂通过整合形成一高度敏感力位移传感器。溶液 : 利用一种表面声波元件中的(saw)一个谐振器，其中一个叉指电极被用作一个压电材料是用于检测所述悬臂的所述力位移。