| 磁电复合式扫描偏转聚焦系统、方法及扫描电子显微镜 |
| CN202310893967.6 2023-7-20 发明申请 |
| 2023-8-22 |
| 本发明涉及磁电复合式扫描偏转聚焦系统、方法及扫描电子显微镜。该系统包括；聚焦组件包括第一物镜和第二物镜；偏转组件包括电磁偏转件和第一静电偏转件，电磁偏转件位于第二物镜的中心孔内，低于第一物镜的极靴口，且高于第二物镜的极靴口，第一静电偏转件位于第二物镜的极靴口，第一物镜、第二物镜、电磁偏转件和第一静电偏转件均沿入射电子束的主轴同轴设置；控制组件用于调控电磁偏转件的激励信号进行第一视场范围扫描偏转；或者调控第一静电偏转件的激励信号进行第二视场范围扫描偏转；第一视场范围对应的最大视场大于第二视场范围对应的最大视场。该系统能够兼容大视场扫描和高速高分辨力成像，适用于不同使用场景需求。 |
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