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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

一种测量样品尺寸的方法及扫描电子显微镜

US10450852 2003-6-18 发明申请

2004-3-18

本发明抑制了在半导体样品等表面上形成的图案体积的减小，或者进行精确的长度测量，而不管这种减小如何。在带电粒子射线装置中，通过用带电粒子射线扫描每个样品的表面并检测从样品释放的二次电子来测量在样品上形成的图案的线宽和其它长度数据，所述带电粒子束的扫描线间隔被设置成不超过由样品的物理特性规定的辐照密度。或者根据预先存储的近似函数计算测量的长度数据。