| 扫描电子显微镜 |
| US10643892 2003-8-20 发明申请 |
| 2004-3-18 |
| 一种具有能量过滤器的扫描电子显微镜，该能量过滤器能够可靠地利用与网状电极碰撞并丢失的二次电子和/或反射电子。 所述扫描电子显微镜具有多孔电极和第一电子检测器，所述多孔电极用于产生用于对通过将初级电子束施加到样品上而产生的电子进行能量过滤的电场，所述第一电子检测器检测通过所述多孔电极的电子，其特征在于，所述扫描电子显微镜还具有多孔结构，所述多孔结构设置在所述第一电子检测器和所述第二电子检测器之间。 在样品附近，偏转器将电子从初级电子束的轴偏转，以及第二电子检测器检测由偏转器偏转的电子。 |
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