| 共焦显微镜 |
| JP2003173367 2003-6-18 发明申请 |
| 2004-3-11 |
| 要解决的问题 : 以得到高度信息在一个最佳测量条件下高的速度。溶液 : 一个共焦显微镜具有由一个近似曲线的测量条件数据，所述算术操作点的数量，以及一运动相对应的间距以一高速模式或一物镜9精确的方式在其功率和高度在样品10被获取的信息。一个ΔZ由一运动级12被移动节距根据所测量的光学轴Z沿条件数据，和一个近似曲线被发现从单独的片的光强度的信息被所述输出一个光检测器15获得的离散地由移动间距ΔZ。最大光强度信息为估计从所述近似曲线，以及发现该样品10上的高度信息是从所述高度Z的级12对应于该最大光强度信息。 |
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