| 与聚焦离子束同轴筒的装置和扫描电子显微镜，和用于图像形成方法和处理 |
| JP2003288887 2003-8-7 发明申请 |
| 2004-3-4 |
| 要解决的问题 : 安装一微机械加工功能的一个FIB(聚焦离子束)系统和一种非破坏性和优异一种SEM(扫描电子显微镜的图像形成功能)成一个单一装置适合用于大批量生产高精度的nanodevices。溶液 : 一个装置与一个同轴筒的一个FBI束和SEM包括一个同轴的FIB和一个电子束允许精确处理由所述FIB使用一个由所述电子束形成图像。在一个实施例中，一个偏转装置偏转的二次收集的粒子通过一最终透镜朝向一检测器以及作为一个轴上的电子束偏转的FBI的光束。在另一实施例中，该FIB的同时或在可选的操作和所述SEM可以实现由一正偏置的静电最终通过使用所述相同的两个光束的透镜与聚焦电压。在其它实施例中，碰撞电子的能量可以被改变而不改变工作距离。 |
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