| 用于确定一样品表面的摩擦学性能的方法使用一种扫描电子显微镜(SEM)和相关联的扫描显微镜 |
| WOEP03009054 2003-8-14 发明申请 |
| 2004-3-4 |
| 本发明涉及一种方法用于使用扫描电子显微镜(SEM)检查所述样品的表面包括一柔性束与纵向延伸，其中所述纵向相对精确地测量尖端被设置到一样品表面的装置的一固定装置，所述空间位置的所述测量的尖端被通过一个感测单元感测到的。所述显微镜进一步配备有至少一个超声发生器，其发起一个在给定激励的振荡所述样品表面之间的频率和所述柔性束，其中所述测量的尖端与所述样品是在接触表面; 使得所述振荡施加到所述测量横向取向的尖端到所述样品表面和垂直于所述所述柔性束的长度。该扭转所述柔性束的振荡被检测和分析的装置的一个评价单元。本发明是，其特征在于，所述生成振荡的是，使得所产生的振荡由所述测量尖端具有一高次谐波振动相对于所述励磁频率，所产生的振荡产生是在幅值，它引起扭振幅在所述柔性束。那些扭转幅值具有最大值，它形成一个基本上恒定的高原，即使当所述扭振幅增加，和; 在所述最大值的范围，所述扭振幅具有其开发一种色散能够被确定的谐振频谱通过一种高原宽度。该方法用于检查一样品表面由使用所述共振谱和中，优选地，该平台值，所述高原宽度和\/或所对应的共振谱增加。 |
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