| 悬臂阵列，阵列制造所述的方法，和扫描探针显微镜，滑动导向和旋转机构的装置，传感器，零差激光干涉仪，和激光多普勒干涉仪与样品的光激励功能，使用所述阵列，和悬臂 |
| KR1020037016658 2003-12-19 发明申请 |
| 2004-3-2 |
| 一悬臂阵列形成在一简单结构和能够准确地检测所述的表面的一样品，一种方法。所制造的阵列，和一个扫描探针显微镜，一个滑动装置的导向和旋转机构，一个传感器; 一个零差激光干涉仪，和一个激光多普勒干涉仪与样品的光激励功能，使用所述阵列，和一个悬臂激励方法，该悬臂阵列包括一大数量的所述的柔性悬臂(3)上滑动表面(2)的所述试样(1)。kipo&wipo2007 |
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