| 扫描电子显微镜 |
| JP2003207032 2003-8-11 发明申请 |
| 2004-2-26 |
| 要解决的问题 : 以容易地找到一个场的范围外的领域。溶液 : 一样品9是由一个电子束2扫描。一个二次电子信号从所得到的样品9是由一检测器14a检测和\/或一个14b，以及该样品的一个图像被显示在一个第一上显示一个图像显示装置15的表面区域所述所检测的基础。该样品图像被存储在存储装置16与一个所述图像的位置作为图像用于指定一个观测位置。所述的多个图像的不同位置可以被存储。一个所存储的图像被选择和读出的要显示的一第二显示表面区域上。当一个所述显示图像的感兴趣的部分，用于指定该观察位置是选择的，该样品9被水平部分移动到所述设定所述的位置第一的中心上显示的脸区域，和一个所述感兴趣的部分放大的图像被显示第一显示表面区域上。 |
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