| 扫描电子显微镜 |
| US10648388 2003-8-27 发明申请 |
| 2004-2-26 |
| 为了能够观察接触孔的底部和内部导线， 在观察接触孔102时， 以预定的加速电压扫描， 在绝缘体(101)的表面上形成正电荷(106)，二次电子(104)被该电场吸引到空穴中，在不同于加速电压的加速电压下连续扫描空穴，并观察样品。 当要观察埋入绝缘体内的导线时， 通过在预定的加速电压下观察绝缘体， 允许电子束进入样品，并且在不同于加速电压的加速电压下连续扫描样品，因此线的存在被反映为表面电荷的变化，并被观察。 在任一种情况下， 在观察前的加速电压与观察中的加速电压不同，以产生正电荷或负电荷的加速电压暂时照射样品表面，然后将加速电压返回到适合观察的加速电压，并观察样品。 |
微信公众号