| 利用扫描探针显微镜尖端的方法及其产品或由其生产的产品 |
| US10465794 2003-6-20 发明申请 |
| 2004-2-26 |
| 本发明提供了一种称为“蘸笔”纳米光刻(DPN)的光刻方法。 DPN使用扫描探针显微镜(SPM)尖端(例如原子力显微镜(AFM)尖端)作为“笔”，固态衬底(例如金)作为“纸”，以及对固态衬底具有化学亲和力的分子作为“墨水”。在DPN中使用分子从SPM尖端到固态衬底的毛细管传输，以直接写入由亚微米尺寸的相对小的分子集合组成的图案，使得DPN可用于制造各种微米和纳米尺寸的器件。 本发明还提供了由DPN构图的衬底，包括亚微米组合阵列，以及用于执行DPN的试剂盒，装置和软件。 本发明还提供了一种在空气中进行AFM成像的方法。 所述方法包括用非疏水性化合物涂覆AFM尖端，所述疏水性化合物被选择成使得与使用未涂覆的AFM尖端执行的AFM成像相比，使用涂覆的AFM尖端执行的AFM成像得到改善。 最后，本发明提供涂覆有疏水化合物的AFM尖端。 |
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