| 使用一个带电粒子光束的光掩模上的缺陷修复和形貌数据从一个扫描探针显微镜 |
| WOUS03025801 2003-8-8 发明申请 |
| 2004-2-19 |
| 地形数据从一个扫描探针显微镜或类似的装置是作为一种替代用于端点检测，以允许使用一精确的相位移光罩中修复缺陷的带电粒子光束系统。所述的形貌数据从一个缺陷区域被用于创建一个半透明的地形地图的显示，其可以被叠加在带电粒子光束图像。该形貌的图像密度和所述两个图像的所述对准可以通过调整所述运营商为了准确位置该光束。也可以使用形貌数据从一个SPM，以调节用于每个点内的带电颗粒束剂量基于所述缺陷区在该仰角和所述特定点处表面的角度。 |
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