| 发射源具有碳纳米管，电子显微镜和使用所述相同的电子束光刻装置 |
| KR1020030055263 2003-8-11 发明申请 |
| 2004-2-18 |
| 目的 : 提供一种高度可靠的电子源在其中一个碳纳米管和一导电衬底之间的欧姆接触可被固定，并且其具有一足够的接合强度和的一束是容易在调整轴，以及其电子显微镜中使用相同的损伤降低到一个测试片，降低成本的，和减小尺寸是通过一种实现更高的分辨率，更高的亮度，与所述传统的模型相比，加速电压下，和一个电子束光刻装置实现较高的清晰度，较高的效率，较低的成本，和更小的尺寸。结构 : 一个电子源，在其中，所述碳纳米管后所述的尖端被安装到所述的中央部分所述导电衬底通过一个导电键合材料或一种有机材料，所述碳纳米管是通过欧姆接触接合通过进行炭化处理的所述有机材料通过热处理或扩散接合，被施加到所述的电子显微镜和所述电子束光刻装置。kipo&膜2004 |
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