| 扫描电子显微镜制造集成的电路系统和方法 |
| JP2003345733 2003-10-3 发明申请 |
| 2004-2-12 |
| 要解决的问题 : 以提供一强度的方法和系统用于分析一个晶片的轮廓包括一扫描所述晶片的步骤，以产生一扫描信号。溶液 : 所述的方法和系统用于分析一个衬底(120，用于扫描所述基板的例子)包括所述步骤(120，用于例如)以产生一个强度信号，其表示所述晶片的形貌(120，用于例如)以一种第一阶。其它的贡献给该强度信号可以被扫描的化学组合物和所述的电状态的特征在所述衬底(120，用于例如)。所述扫描信号进行比较和相关的一个参考信号，以评估所述基板(120，用于例如)。本发明还涉及提高所述的制造用于产品的质量施加所述的方法和系统以所述晶片制造所述的方法(120，用于例如)。 |
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