利用扫描探针显微镜尖端的方法及其产品或由其生产的产品
 
US10449685  2003-6-2  发明申请

2004-2-12
 
  本发明提供了一种称为“蘸笔”纳米光刻(DPN)的光刻方法。 DPN利用扫描探针显微镜(SPM)尖端(例如, 作为“笔”的原子力显微镜(AFM)尖端,固态衬底(例如, 金)作为“纸”,和对固态基材具有化学亲和力的分子作为“油墨”。分子从SPM尖端到固态基材的毛细管传输被用于DPN中,以直接写入由亚微米尺寸的相对小分子集合组成的图案, 使DPN可用于制造各种微米级和纳米级器件。 本发明还提供了用DPN构图的基片和用于进行DPN的试剂盒。 本发明还提供了一种在空气中进行AFM成像的方法。 所述方法包括用疏水化合物涂覆AFM尖端,所述疏水化合物被选择成使得与使用未涂覆的AFM尖端执行的AFM成像相比,使用涂覆的AFM尖端执行的AFM成像得到改善。 最后,本发明提供涂覆有疏水化合物的AFM尖端。
 
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