| 一种扫描电子显微镜像散的校正方法 |
| CN03141806.6 2003-7-24 发明申请 |
| 2004-2-11 |
| 本发明涉及显微镜像差校正的技术领域，尤其是 涉及一种扫描电子显微镜像散的校正方法。它包括如下步骤： a.选取校正样品；b.将校正样品放置在扫描电子显微镜的样品 台上；c.开启扫描电子显微镜；d.将扫描电子显微镜的放大倍 率调整到≥3000倍，工作距离调整到8～15mm；e.将校正样品 的扫描电子显微镜图像调整到正聚焦状态；f.使用扫描电子显 微镜的图像消除像散功能，将图像的边缘轮廓调整到清晰状 态。本发明解决了以往在未知的被测样品上寻找一块理想的结 构来校正系统像散的困难，可使本技术领域的普通技术人员在 扫描电子显微镜中校正像散的工作变得很方便。 |
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