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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜

US10615864 2003-7-10 发明申请

2004-1-29

本发明的目的是提供一种扫描电子显微镜，用于减少涉及检查定位或输入操作的过程，从而以高精度高速工作。为了实现上述目的，本发明提供一种扫描电子显微镜，其具有用于基于预先记录的图案来识别期望位置的功能，该扫描电子显微镜包括 : 用于设置关于图案类型，构成图案的多个部分之间的间隔和构成图案的部分的尺寸的信息的装置；以及用于基于由相关装置获得的信息来形成由多个部分组成的图案图像的装置。