| 扫描电子显微镜 |
| US10615531 2003-7-8 发明申请 |
| 2004-1-22 |
| 本发明的扫描电子显微镜包括 : 发射电子束的电子源1， 物镜系统9，用于将辐射的电子束聚焦在样品10上， 扫描系统5， 8)扫描样品上的聚焦电子束， 二次电子检测系统3，4和二次电子图像显示系统13，二次电子检测系统3，4检测从样品10发射的二次电子，二次电子图像显示系统13利用来自二次电子检测系统的二次电子检测信号显示样品10的二次电子图像。 物镜9由第一物镜11和第二物镜12组成。 在宽视场模式下使用时主要激励第一物镜11，而在高分辨率模式下使用时主要激励第二物镜12。 |
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