| 用于检测微阵列的系统和方法使用扫描电子显微镜 |
| WOUS03022034 2003-7-14 发明申请 |
| 2004-1-22 |
| 本发明提供一种微阵列上，以检测生物分子的方法使用一种扫描电子显微镜。在本发明的一个实施例中，寡核苷酸微阵列的制造期间被检测到的合成中的误差，通过监测合成控制探针的所述芯片上。在另一实施例中，所述芯片上的特征是确定的未对准。在又另一实施例中，所述尺寸，形状和特征在所述芯片的边缘清晰度是确定的。进一步的实施例中，一种寡核苷酸目标之间的相互作用是提供用于分析的方法和一种寡核苷酸探针上的一微阵列的一种微阵列的制造过程中用于测试条件和方法。 |
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