| 一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度的装置 |
| CN03228129.3 2003-1-10 实用新型 |
| 2004-1-21 |
| 一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度 的装置，包括原子力显微镜、函数发生器、示波器等，通过在 导电针尖上施加一定的偏压，从而在针尖与样品之间诱导形成 电场。这种长程的电场力叠加在范德华力上可以扩大针尖与样 品的距离，使针尖在垂直方向上的移动更容易控制，而且可以 在不同的高度上稳定成像。通过调节Asp(针尖上所加的力)参 数或插入扫描频道中的扫描高度参数来改变针尖高度的两种 途径，可得到被测样品的高度。本实用新型结构比较简单，使 用方便，使针尖在垂直方向上的移动更容易控制，在柔软的生 物样品的高度测量上更有优势，很大程度上消除了针尖对样品 的压力。 |
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