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可调的两个三维微米保持对象物用于同时运行的原子力显微镜和逆显微镜测量使用XY定位表

DE20311933 2003-7-31 实用新型

2004-1-15

所述AFM(原子力显微镜)使用该XY工作台的倒置显微镜。所述AFM和该被检查物体的位置可以被独立地调整以移动该对象在两个-尺寸，并且使它该倒置显微镜下，所述的物镜。各种凸该表可以被给定的尺寸。