| 使用所述相同的探针扫描机构和扫描探针显微镜 |
| JP2003285012 2003-8-1 发明申请 |
| 2004-1-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一种探针扫描机构，用于扫描探针在一高的速度。溶液 : 一悬臂12被连接到一个可动体16通过一夹持器14。三个蓝宝石板18被正交地设置在所述可动体16。三个压电致动器30a的X，30aZ正交方向中相互移位。图中示出两个压电致动器。4。一蓝宝石板22被连接到每个压电致动器的一个端部。所述蓝宝石板22面对该蓝宝石板18通过红宝石球20。不同磁化的磁体被设置在所述中心的所述蓝宝石板18，22。一个具有两个三角形棱镜折射棱镜44正交取向和层叠在所述Z方向，被固定在该悬臂12所述可动体16中。一用于散热的激光束的激光振荡器40和一个光学传感器48具有一个光接收区域分割成四个部分被设置在预定位置。 |
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