| 扫描探针显微镜 |
| WOGB03002903 2003-7-4 发明申请 |
| 2004-1-15 |
| 一个扫描探针显微镜检测或一个探针样品中感应出的变化的交互。在成像模式,所述探头(54)是进入所述样品的接触距离(12)和所述强度该交互测量的作为所述探头(54)和相对于每个其它样品表面被扫描。图像采集是通过进行快速执行所述样品的相对平移(12)和探针(54),同时一个或其它是在或接近其谐振频率振荡。在一个优选实施例中所述相互作用是监视通过电容的装置开发的一种金属之间的界面处探头和所述样品。在光刻方式,一种原子力显微镜是适于写入信息到样品表面。 |