| 移动台装置和扫描探针显微镜 |
| JP2003121041 2003-4-25 发明申请 |
| 2004-1-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一紧凑的可动台能稳定运动的。溶液 : 一驱动器12之间的XY可动体19被放置，13，14在一底座11和驱动器28; 29，30面向相反的一个上面板27上，以所述驱动元件12，13，14。一弹簧50的一端被连接到所述通过将形成一个三角形的位置的质心该驱动器12，13，14所述底座11上。该弹簧50的另一端被连接到所述重力的中心形成一个三角形的由将该位置的驱动器28，29，30所述上面板27上。该XY可动体19被推入由相等的力从所述的驱动器28，29，30和按压到该驱动器12，13，14由于所述驱动器与所述的装置和所述弹簧50所述的安装位置。 |
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