| 扫描电子显微镜 |
| JP2003207034 2003-8-11 发明申请 |
| 2004-1-8 |
| 要解决的问题 : 以使容易用于场外视图的一个视图的搜索范围。溶液 : 一样品9是与一个电子束2扫描。一个二次信号从所述样品9是与检测器14a检测和\/或14b，和一个样品图像被一个第一上显示一图像显示装置的显示区域15。该样品图像被存储作为一种存储器装置16中的指定图像的观察位置与所述位置所述的图像。所述样品的不同位置被存储的多个图像和它们被读出的一个的所述存储器和一个第二上显示的显示区域。当一个感兴趣的是该观察位置中选择的指定位置的图像，该样品9被水平地移动。以中心第一中所选择的位置显示区域，和放大所选择的位置的图像被显示在第一显示区域。 |
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