| 扫描电子显微镜及其控制方法 |
| US10603433 2003-6-25 发明申请 |
| 2004-1-1 |
| 一种扫描电子显微镜，具有产生电子束的电子枪，用于将电子束急剧聚焦到样品上的物镜，用于使样品相对于电子束倾斜的倾斜机构，以及用于向样品施加负电压的电源。 所述显微镜还包括圆柱形屏蔽电极，所述屏蔽电极被安装成围绕物镜和样品之间的电子束路径。 前端电极绝缘地安装到位于样品侧的屏蔽电极的前端部分。 在屏蔽电极上施加与物镜的偏振片处的电势基本相同的电势。 将与试样处的电位基本相同的电位施加到前端电极。 |
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