| 原子力显微镜多维传感系统 |
| US10338381 2003-1-8 发明申请 |
| 2003-12-25 |
| 本发明提供了一种具有创新的传感系统的扫描探针显微镜工具。 扫描探针显微镜工具包括具有部分反射表面的特殊悬臂，该部分反射表面使得扫描探针工具更有能力。 所述扫描探针显微镜工具还包括至少一个光源，所述光源用不需要聚焦并且可以被准直的光束照射所述悬臂。 另外，光束可以大于振荡器的尺寸并且可以照射多于一个悬臂。 所述扫描探针显微镜工具还包括至少一个检测器，其中优选的检测器是连续位置敏感检测器。 创新的传感系统使CD-AFM工具配置成为可能，其中探针可以绕其长轴扭转，以便更好地接近特征的垂直和再凹入表面，包括具有高纵横比的具有挑战性的半导体器件特征。 扭转探针可以是扭转悬臂或相对于悬臂倾斜的尖端。 当探针与样品相互作用时，创新的传感系统能够测量探针的绝对和相对位置以及取向。 |
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