| 共焦显微镜和方法用于由共焦显微镜测量 |
| WOJP03007750 2003-6-18 发明申请 |
| 2003-12-24 |
| 一个共焦显微镜和一用于通过共焦显微镜测量方法在其一个或多个测量单元的用于检测一个相对移动量被设置到一用于安装一个样品Z阶段，最大值的一由光强度变化曲线表示基于赋予它被估计的相对位置信息和一个相对位置上的信息通过检测所获得的所述物镜的聚光位置的相对位置和所述通过装置的样品所述测量单元，和多个片的光强度的信息包括一个最大光强度值，和然后一个共焦图像是使用所创建的最大光强度值和所述因此估计作为反射亮度的相对位置信息和高度信息。 |
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