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一种用于一种扫描电子显微镜样品外壳和其使用的方法

WOIL03000454 2003-6-1 发明申请

2003-12-18

一种兼容的SEM样品容器包括一个样品外壳，其包括一个电子束可渗透的，流体不可渗透的膜，和一个外围外壳密封到所述与所述膜样品膜和限定机壳，和一个样品壳体封盖包括快速连接用于与所述样品的密封接合的外壳连接的功能。