| 法布里-珀罗谐振器和使用该谐振器在原子力显微镜中测量和校准悬臂尖端的位移的系统 |
| US10457311 2003-6-9 发明申请 |
| 2003-12-11 |
| 一种原子力显微镜。 一种法布里-珀罗干涉仪，其中通过光纤在悬臂处反射的光的强度对悬臂的位移敏感地变化，该干涉仪被构造成精确地测量光纤和悬臂之间的距离。 法布里-珀罗谐振器由具有凹面镜形状的端部和悬臂的反射表面的光纤形成。 悬臂尖端的位移通过检测在谐振器处反射的信号来测量，并且产生对应于悬臂尖端的位移变化的反馈信号。 悬臂尖端的位移通过致动压电元件在z轴方向上保持恒定。 |
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