| 方法和装置，用于确定一表面一衬底试样的质量使用微分干涉对比度显微镜 |
| WOUS03016170 2003-5-22 发明申请 |
| 2003-12-4 |
| 一种方法用于确定一表面一衬底试样的质量(24)使用一微分干涉对比度显微镜(12)是描述。所述显微镜包括一个目镜(19)，一个目镜的焦点调整，一种显微镜聚焦调节，一光源(14)，在至少一个的一孔或分划板(20)，一个摄像机视图，一棱镜(22)和一个目镜。该方法包括校准所述目镜的焦点与所述所述摄像机(18)的焦点和确定一个峰值响应比用于所述的显微镜通过调整相位之间的差分该显微镜的光束。所述衬底样品被置于所述显微镜下，与所述的光照射源，并可进入焦点与所述显微镜聚焦。差分光束之间的相位被调整，所述衬底试样的至少一个图像被捕获和处理，以确定所述衬底试样上的表面结构的一个电平。 |
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