| 分束器组件、用于确定其尺寸的方法以及显微镜 |
| US18109304 2023-2-14 发明申请 |
| 2023-8-17 |
| 公开了一种用于布置在显微镜的光束路径的非准直部分中的分束器组件，该分束器组件具有相对于光轴倾斜一倾斜角的第一板和相对于光轴倾斜一倾斜角的第二板，其中第一板和/或第二板用于将辐射耦合入和/或耦合出(多个)。 分束器组件可以包括第一平板的楔形角、第二平板的楔形角和第二平板的倾斜角，它们以这样的方式彼此协调，即光轴上的像散和物场中像散的线性场依赖性被校正。 还公开了一种用于确定分束器组件和显微镜的尺寸的方法。 |
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