| 扫描探针显微镜 |
| US10438038 2003-5-14 发明申请 |
| 2003-11-27 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，其能够简单且准确地确认试样形状是否满足规定条件。 一种伪参考图像SREF1包括一对相互平行地分开布置的参考线轮廓LREF1和LREF2。 操作者移动和旋转屏幕上的伪参考图像SREF1的位置，使得样本形状线轮廓配合在伪参考图像SREF1的参考线轮廓LREF1和LREF2之间。 如果可以在参考线轮廓LREF1和LREF2之间拟合样本形状的线轮廓，则确定样本形状符合规范，而如果不可能在参考线轮廓LREF1和LREF2之间拟合样本形状的线轮廓，则无论伪参考图像SREF1如何移动和旋转，都确定样本形状不符合规范。 |
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