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样品尺寸测量方法和扫描电子显微镜

WOJP03006203 2003-5-19 发明申请

2003-11-27

尺寸造成的测量误差到所述的事实所引起的收缩量由所述与电子束扫描与图案变化被减小。一个函数表示所述的一种图案的尺寸变化时引起的电子束被施加到一种制备样品用于每种样品的图案。所述尺寸该图案的测量值通过扫描一特定图案与所述电子束被取代成该功能准备用于该特定图案，以计算该之前，所述特定图案的尺寸变化。