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扫描显微镜和光束偏转装置

US10439742 2003-5-16 发明申请

2003-11-20

一种扫描显微镜，具有光源和光束偏转装置，所述光源产生用于照射样品的光束，所述光束偏转装置能够将光束引导到所述样品上。光束偏转装置包括至少一个具有至少一个反射镜的可旋转单元。执行与可旋转单元的运动相等且相反的运动的补偿元件布置成使得其至少部分地补偿可旋转单元的转动惯量。