| 二次电子发射显微镜的装置和方法 |
| US10406339 2003-4-2 发明申请 |
| 2003-11-6 |
| 提出了一种使用电子束检查样品表面的装置和方法，特别是但不限于半导体器件。 所述技术被称为二次电子发射显微镜(SEEM)，并且与扫描电子显微镜(SEM)和低能量电子显微镜(LEEM)技术相比具有显著的优势。 具体地说，SEEM技术使用具有适合于平行多像素成像的束宽的相对高能初级电子束。 所述电子能量接近电荷稳定条件以实现比以前用SEM可获得的更快的成像，并且电荷中性用Leem不可获得。 可以使用时间延迟积分检测器来检测发射的电子。 |
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