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用于扫描电子显微镜图像的混合增强的系统和方法

US17674412 2022-2-17 发明申请

2023-8-17

本文公开了用于执行用于增强扫描电子显微镜(SEM)图像的混合机器学习方法的方法和系统。方法包括以下步骤：获取样品的区域的多个图像，每个图像通过用脉冲带电粒子束照射样品而产生，放大每个单独的图像以产生样品的区域的多个放大的图像，以及组合多个放大的图像以形成样品的区域的噪声降低的图像。