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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

束对准在扫描电子显微镜

EP03008950 2003-4-16 发明申请

2003-11-5

一种用于成像的装置所述样品的表面，例如一种扫描电子显微镜。所述的装置产生一束带电粒子定向在所述表面，并包括一物镜透镜和一个用于控制所述粒子束的静电透镜。所述物镜和所述静电透镜构成的复合透镜，其具有一轴。该光束被控制，以使它沿所述轴的所述化合物中的透镜，以便避免不利的后果引起的，例如，当机械的未对准和作为表现所述一个的所述物镜的焦点和该装置的操作期间是变化的静电透镜。