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产业专利数据

具有室温OTPICS的发射显微镜的高灵敏度热辐射检测

AU2003220576 2003-3-26 发明申请

2003-10-20

一种光发射显微镜，包括低温检测器阵列，该低温检测器阵列通过室温投影光学系统从被测器件接收光。包括可移动冷挡和低温过滤器的冷孔吸收由光学系统发射的不需要的热辐射。在一个实施例中，高分辨率CCD相机可与低温检测器阵列和具有向两个相机提供发射光的计算机控制反射镜的相机一起使用。