| 液相原子力显微镜探头 |
| CN03116763.2 2003-4-28 发明申请 |
| 2003-10-15 |
| 本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它 依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、 XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控 制系统，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降 液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁，技术条件 易于实现，广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，既可以在 空气中测量，又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和 测量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。 |
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