| 电镜电荷消除方法及电镜 |
| EP03007986 2003-4-10 发明申请 |
| 2003-10-15 |
| 该样品的除电是通过施加加速电压，以执行一个电子枪和施加一次电子到样品上的带电从所述的电子枪。所述的最大值的所述初级电子加速电压施加在过去被采用作为电消除开始加速电压。该加速电压是逐渐滴从所述电消除开始电压，从而以发射电子的带电在该样品。该加速度连续，直到该样品的充电电压被施加负变为不带电的或被充电的正。多个样品的相对于所述加速电压是与先前相比在其中所述次级电子发射效率变为1和电消除在其中滴加加速电压是终止的终止电压被设定到所述最小的加速电压或更小。 |
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