| 扫描电子显微镜和使用该扫描电子显微镜的样品观察方法 |
| US10406455 2003-4-4 发明申请 |
| 2003-10-9 |
| 根据本发明， 在具有透镜内系统的扫描电子显微镜中，新提供了将物镜的电流设置为零或弱激励状态的第一低倍率模式， 以及第二低放大模式，其将物镜的电流设置为与加速电压的平方根成比例变化的值。 扫描电子显微镜具有在第一低倍率模式下进行正常样品图像(二次电子图像)观察，并且在进行X射线分析时将第一低倍率模式切换到第二低倍率模式的结构。 因此，可以以低倍率方式进行样品图像(二次电子图像)观察和X射线分析。 |
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