| 光学显微镜聚焦系统包括一个光光束投影系统，其产生一个光点在所述对象平面与所述部分的所述光束沿其长度变化，使得可以对其形状相关的聚焦 |
| DE10312682 2003-3-21 发明申请 |
| 2003-10-2 |
| 显微装置包括一个物镜系统(3)与一个对象平面(13)。该操作目标和物体平面之间的距离(a)是可调。一个光投影装置是提供用于聚焦分析光(33，34)所述对象上，以产生至少一个光点(39)所述对象平面上。所分析的光束的形状，使得其沿所述光束路径的横截面轮廓的变化。该显微装置还包括一个空间分辨辐射检测器(51)用于成像的光点和一电路(61)用于所述光点的评价和一种基于聚焦信号的输出在其交叉截面轮廓。 |
微信公众号